Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

Chi tiết về thư mục
Tác giả khác:	Tilli, Markku (Biên tập viên), Paulasto-Krockel, Mervi (Biên tập viên), Petzold, Matthias (Biên tập viên), Theuss, Horst (Biên tập viên), Motooka, Teruaki (Biên tập viên), Lindroos, Veikko (Biên tập viên)
Định dạng:	Electronic Resource
Ngôn ngữ:	English
Được phát hành:	London Elsevier [2020]
Phiên bản:	Third edition.
Những chủ đề:	Microelectromechanical systems. Microelectromechanical systems > Materials. Silicon > Electric properties. Electronic books.
Truy cập trực tuyến:	Available for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access Also available remotely for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access thru EZproxy