Planar magnetron plasma devices and applications

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Villamayor, Michelle Marie S. (Författare, medförfattare)
Övriga upphovsmän: Ramos, Henry J. (adviser.), Wada, Motoi (co-adviser.)
Materialtyp: Lärdomsprov
Språk:engelska
Publicerad: Quezon City National Institute of Physics, College of Science, University of the Philippines Diliman 2014.
Ämnen: