Planar magnetron plasma devices and applications
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Övriga upphovsmän: | , |
| Materialtyp: | Lärdomsprov |
| Språk: | engelska |
| Publicerad: |
Quezon City
National Institute of Physics, College of Science, University of the Philippines Diliman
2014.
|
| Ämnen: |