Reactive metal ion etching a tool for reduction of mirco-droplets in cathodic arc pvd process

Reactive metal ion etching a tool for reduction of mirco-droplets in cathodic arc pvd process

Opis bibliograficzny
Wydane w:Surface Engineering Bulletin 4, 1-4 (2012).
1. autor: Valleti, Krishna
Format: Artykuł
Język:English
Hasła przedmiotowe:
Physical vapour deposition (PVD).
Reactive metal.
Ion etching.