Reactive metal ion etching a tool for reduction of mirco-droplets in cathodic arc pvd process

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τόπος έκδοσης:Surface Engineering Bulletin 4, 1-4 (2012).
Κύριος συγγραφέας: Valleti, Krishna
Μορφή: Άρθρο
Γλώσσα:English
Θέματα: