Reactive metal ion etching a tool for reduction of mirco-droplets in cathodic arc pvd process

Reactive metal ion etching a tool for reduction of mirco-droplets in cathodic arc pvd process

מידע ביבליוגרפי
הוצא לאור ב:Surface Engineering Bulletin 4, 1-4 (2012).
מחבר ראשי: Valleti, Krishna
פורמט: Article
שפה:English
נושאים:
Physical vapour deposition (PVD).
Reactive metal.
Ion etching.