Reactive metal ion etching a tool for reduction of mirco-droplets in cathodic arc pvd process

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রকাশিত:	Surface Engineering Bulletin 4, 1-4 (2012).
প্রধান লেখক:	Valleti, Krishna
বিন্যাস:	প্রবন্ধ
ভাষা:	English
বিষয়গুলি:	Physical vapour deposition (PVD). Reactive metal. Ion etching.