Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume II Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology.
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Kirja |
| Kieli: | englanti |
| Julkaistu: |
Boca Raton, Fla.
CRC Press
c2012.
|
| Painos: | 3rd ed. |
| Aiheet: |