Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume II Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology.
| Autore principale: | |
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| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Boca Raton, Fla.
CRC Press
c2012.
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| Edizione: | 3rd ed. |
| Soggetti: |