Introduction to microfabrication

書誌詳細
第一著者:	Franssila, Sami
フォーマット:	図書
言語:	英語
出版事項:	Chichester, West Sussex John Wiley & Sons 2010.
版:	2nd ed.
主題:	Microelectromechanical systems. Electronic apparatus and appliances. Microfabrication.