Introduction to microfabrication

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי:	Franssila, Sami
פורמט:	ספר
שפה:	English
יצא לאור:	Chichester, West Sussex John Wiley & Sons 2010.
מהדורה:	2nd ed.
נושאים:	Microelectromechanical systems. Electronic apparatus and appliances. Microfabrication.