Introduction to microfabrication

Opis bibliograficzny
1. autor:	Franssila, Sami
Format:	Książka
Język:	English
Wydane:	Chichester, West Sussex John Wiley & Sons 2010.
Wydanie:	2nd ed.
Hasła przedmiotowe:	Microelectromechanical systems. Electronic apparatus and appliances. Microfabrication.