Introduction to microfabrication

Détails bibliographiques
Auteur principal:	Franssila, Sami
Format:	Livre
Langue:	English
Publié:	Chichester, West Sussex John Wiley & Sons 2010.
Édition:	2nd ed.
Sujets:	Microelectromechanical systems. Electronic apparatus and appliances. Microfabrication.