Introduction to microfabrication

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Franssila, Sami
Formato:	Libro
Lenguaje:	inglés
Publicado:	Chichester, West Sussex John Wiley & Sons 2010.
Edición:	2nd ed.
Materias:	Microelectromechanical systems. Electronic apparatus and appliances. Microfabrication.