Introduction to microfabrication

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রধান লেখক:	Franssila, Sami
বিন্যাস:	গ্রন্থ
ভাষা:	ইংরেজি
প্রকাশিত:	Chichester, West Sussex John Wiley & Sons 2010.
সংস্করন:	2nd ed.
বিষয়গুলি:	Microelectromechanical systems. Electronic apparatus and appliances. Microfabrication.