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Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control

Detalhes bibliográficos
Autor principal: May, Gary S.
Outros Autores: Spanos, Costas J.
Formato: Livro
Idioma:inglês
Publicado em: Hoboken, N.J. Wiley-Interscience c2006.
Assuntos:
Semiconductors > Design and construction.
Integrated circuits > Design and construction.
Process control > Statistical methods.