Зображення обкладинки

Microfabrication and nanomanufacturing

Бібліографічні деталі
Інші автори: Jackson, Mark J.
Формат: Книга
Мова:Англійська
Опубліковано: Boca Raton, Fla. CRC/Taylor & Francis 2006.
Предмети:
Microelectronics.
Integrated circuits > Design and construction.
Nanomanufacturing.
Microelectromechanical systems > Design and construction.