Microfabrication and nanomanufacturing

Microfabrication and nanomanufacturing

Opis bibliograficzny
Kolejni autorzy: Jackson, Mark J.
Format: Książka
Język:English
Wydane: Boca Raton, Fla. CRC/Taylor & Francis 2006.
Hasła przedmiotowe:
Microelectronics.
Integrated circuits > Design and construction.
Nanomanufacturing.
Microelectromechanical systems > Design and construction.