Microfabrication and nanomanufacturing

Microfabrication and nanomanufacturing

Bibliografiset tiedot
Muut tekijät: Jackson, Mark J.
Aineistotyyppi: Kirja
Kieli:English
Julkaistu: Boca Raton, Fla. CRC/Taylor & Francis 2006.
Aiheet:
Microelectronics.
Integrated circuits > Design and construction.
Nanomanufacturing.
Microelectromechanical systems > Design and construction.