Nano- and micro-electromechanical systems fundamentals of nano- and microengineering
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | كتاب |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
Boca Raton, Fla.
CRC Press
c2005.
|
| الطبعة: | 2nd ed. |
| سلاسل: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
8 |
| الموضوعات: |