صورة الغلاف

MEMS design and fabrication

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
التنسيق: كتاب
اللغة:الإنجليزية
منشور في: Boca Raton, Fla. CRC/Taylor & Francis c2006.
الطبعة:2nd ed.
الموضوعات:
Microelectromechanical systems > Design and construction.
Microfabrication.