MEMS design and fabrication

MEMS design and fabrication

Bibliografiset tiedot
Muut tekijät: Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
Aineistotyyppi: Kirja
Kieli:English
Julkaistu: Boca Raton, Fla. CRC/Taylor & Francis c2006.
Painos:2nd ed.
Aiheet:
Microelectromechanical systems > Design and construction.
Microfabrication.