MEMS design and fabrication

MEMS design and fabrication

Manylion Llyfryddiaeth
Awduron Eraill: Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
Fformat: Llyfr
Iaith:English
Cyhoeddwyd: Boca Raton, Fla. CRC/Taylor & Francis c2006.
Rhifyn:2nd ed.
Pynciau:
Microelectromechanical systems > Design and construction.
Microfabrication.