Introduction to microelectronic fabrication

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Jaeger, Richard C.
التنسيق: كتاب
اللغة:الإنجليزية
منشور في: Upper Saddle River, N.J. Prentice Hall c2002.
الطبعة:2nd ed.
سلاسل:Modular series on solid state devices v. 5
الموضوعات: