Introduction to microelectronic fabrication
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | كتاب |
| اللغة: | الإنجليزية |
| منشور في: |
Upper Saddle River, N.J.
Prentice Hall
c2002.
|
| الطبعة: | 2nd ed. |
| سلاسل: | Modular series on solid state devices
v. 5 |
| الموضوعات: |


