Introduction to microelectronic fabrication
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
Upper Saddle River, N.J.
Prentice Hall
c2002.
|
| Редактирование: | 2nd ed. |
| Серии: | Modular series on solid state devices
v. 5 |
| Предметы: |