Micromechanics and MEMS classic and seminal papers to 1990

Detalhes bibliográficos
Autor Corporativo:	Institute of Electrical and Electronics Engineers
Outros Autores:	Trimmer, W.
Formato:	Livro
Idioma:	inglês
Publicado em:	New York IEEE Press c1997.
Assuntos:	Microelectronics. Electromechanical devices. Microelectromechanical systems. Actuators.