Obálka

Micromechanics and MEMS classic and seminal papers to 1990

Podrobná bibliografie
Korporativní autor: Institute of Electrical and Electronics Engineers
Další autoři: Trimmer, W.
Médium: Kniha
Jazyk:angličtina
Vydáno: New York IEEE Press c1997.
Témata:
Microelectronics.
Electromechanical devices.
Microelectromechanical systems.
Actuators.