High vacuum thermal oxidation of RF magnetron sputtered aluminum film on copper substrate for TBC-AL203 growth

Библиографические подробности
Главный автор:	Garcia, Alipio Terrano
Формат:	Диссертация
Язык:	English
Опубликовано:	1999.
Предметы:	Sputtering (Physics). Aluminum films. Copper > Oxidation. Aluminum > Anodic oxidation.