High vacuum thermal oxidation of RF magnetron sputtered aluminum film on copper substrate for TBC-AL203 growth

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur:	Garcia, Alipio Terrano
Formaat:	Thesis
Taal:	English
Gepubliceerd in:	1999.
Onderwerpen:	Sputtering (Physics). Aluminum films. Copper > Oxidation. Aluminum > Anodic oxidation.