High vacuum thermal oxidation of RF magnetron sputtered aluminum film on copper substrate for TBC-AL203 growth

書誌詳細
第一著者:	Garcia, Alipio Terrano
フォーマット:	学位論文
言語:	English
出版事項:	1999.
主題:	Sputtering (Physics). Aluminum films. Copper > Oxidation. Aluminum > Anodic oxidation.