High vacuum thermal oxidation of RF magnetron sputtered aluminum film on copper substrate for TBC-AL203 growth

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Garcia, Alipio Terrano
Μορφή:	Thesis
Γλώσσα:	English
Έκδοση:	1999.
Θέματα:	Sputtering (Physics). Aluminum films. Copper > Oxidation. Aluminum > Anodic oxidation.