High vacuum thermal oxidation of RF magnetron sputtered aluminum film on copper substrate for TBC-AL203 growth

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Garcia, Alipio Terrano
التنسيق:	أطروحة
اللغة:	English
منشور في:	1999.
الموضوعات:	Sputtering (Physics). Aluminum films. Copper > Oxidation. Aluminum > Anodic oxidation.