Sheet plasma configurations suitable for materials processing

Библиографические подробности
Главные авторы:	Ramos, Henry J. (Автор), Doi, Kenta (Автор), Fernandez, Marcedon S. (Автор), Malapit, Giovanni M. (Автор), Sasao, Mamiko (Автор), Villamayor, Michelle Marie S. (Автор), Wada, Motoi (Автор)
Формат:	Analytics
Язык:	английский
Опубликовано:	2014.
Предметы:	Ion beams. Magnetized sheet plasmas. Negative hydrogen ions. TiN. SiH.