Sheet plasma configurations suitable for materials processing

Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Ramos, Henry J. (Autor), Doi, Kenta (Autor), Fernandez, Marcedon S. (Autor), Malapit, Giovanni M. (Autor), Sasao, Mamiko (Autor), Villamayor, Michelle Marie S. (Autor), Wada, Motoi (Autor)
Formato:	Analytics
Lenguaje:	English
Publicado:	2014.
Materias:	Ion beams. Magnetized sheet plasmas. Negative hydrogen ions. TiN. SiH.