Sheet plasma configurations suitable for materials processing

Xehetasun bibliografikoak
Egile Nagusiak:	Ramos, Henry J. (Egilea), Doi, Kenta (Egilea), Fernandez, Marcedon S. (Egilea), Malapit, Giovanni M. (Egilea), Sasao, Mamiko (Egilea), Villamayor, Michelle Marie S. (Egilea), Wada, Motoi (Egilea)
Formatua:	Analytics
Hizkuntza:	English
Argitaratua:	2014.
Gaiak:	Ion beams. Magnetized sheet plasmas. Negative hydrogen ions. TiN. SiH.