Imagem da capa

Sheet plasma configurations suitable for materials processing

Detalhes bibliográficos
Principais autores: Ramos, Henry J. (Autor), Doi, Kenta (Autor), Fernandez, Marcedon S. (Autor), Malapit, Giovanni M. (Autor), Sasao, Mamiko (Autor), Villamayor, Michelle Marie S. (Autor), Wada, Motoi (Autor)
Formato: Analytics
Idioma:inglês
Publicado em: 2014.
Assuntos:
Ion beams.
Magnetized sheet plasmas.
Negative hydrogen ions.
TiN.
SiH.