Sheet plasma configurations suitable for materials processing

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Ramos, Henry J. (مؤلف), Doi, Kenta (مؤلف), Fernandez, Marcedon S. (مؤلف), Malapit, Giovanni M. (مؤلف), Sasao, Mamiko (مؤلف), Villamayor, Michelle Marie S. (مؤلف), Wada, Motoi (مؤلف)
التنسيق:	Analytics
اللغة:	English
منشور في:	2014.
الموضوعات:	Ion beams. Magnetized sheet plasmas. Negative hydrogen ions. TiN. SiH.