Sheet plasma configurations suitable for materials processing

Bibliografiset tiedot
Päätekijät:	Ramos, Henry J. (Tekijä), Doi, Kenta (Tekijä), Fernandez, Marcedon S. (Tekijä), Malapit, Giovanni M. (Tekijä), Sasao, Mamiko (Tekijä), Villamayor, Michelle Marie S. (Tekijä), Wada, Motoi (Tekijä)
Aineistotyyppi:	Analytics
Kieli:	English
Julkaistu:	2014.
Aiheet:	Ion beams. Magnetized sheet plasmas. Negative hydrogen ions. TiN. SiH.