Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

Bibliografische gegevens
Gepubliceerd in:	Science Diliman Vol. 10, no. 1 (1998), 21-30
Hoofdauteur:	Mendenilla, Alexander
Andere auteurs:	Blanca, Carlo Mar, Ramos, Henry
Formaat:	Artikel
Taal:	English
Gepubliceerd in:	1998
Onderwerpen:	Plasma physics Ion sources Ion beams