Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

Библиографические подробности
Опубликовано в::	Science Diliman Vol. 10, no. 1 (1998), 21-30
Главный автор:	Mendenilla, Alexander
Другие авторы:	Blanca, Carlo Mar, Ramos, Henry
Формат:	Статья
Язык:	English
Опубликовано:	1998
Предметы:	Plasma physics Ion sources Ion beams