Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

Detalhes bibliográficos
Publicado no:	Science Diliman Vol. 10, no. 1 (1998), 21-30
Autor principal:	Mendenilla, Alexander
Outros Autores:	Blanca, Carlo Mar, Ramos, Henry
Formato:	Artigo
Idioma:	English
Publicado em:	1998
Assuntos:	Plasma physics Ion sources Ion beams