Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

Dettagli Bibliografici
Pubblicato in:	Science Diliman Vol. 10, no. 1 (1998), 21-30
Autore principale:	Mendenilla, Alexander
Altri autori:	Blanca, Carlo Mar, Ramos, Henry
Natura:	Articolo
Lingua:	English
Pubblicazione:	1998
Soggetti:	Plasma physics Ion sources Ion beams