Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

Bibliografiska uppgifter
Övriga upphovsmän:	Tilli, Markku (Utgivare, redaktör, sammanställare), Paulasto-Krockel, Mervi (Utgivare, redaktör, sammanställare), Petzold, Matthias (Utgivare, redaktör, sammanställare), Theuss, Horst (Utgivare, redaktör, sammanställare), Motooka, Teruaki (Utgivare, redaktör, sammanställare), Lindroos, Veikko (Utgivare, redaktör, sammanställare)
Materialtyp:	Electronic Resource
Språk:	English
Publicerad:	London Elsevier [2020]
Upplaga:	Third edition.
Ämnen:	Microelectromechanical systems. Microelectromechanical systems > Materials. Silicon > Electric properties. Electronic books.
Länkar:	Available for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access Also available remotely for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access thru EZproxy