Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Tilli, Markku (HerausgeberIn), Paulasto-Krockel, Mervi (HerausgeberIn), Petzold, Matthias (HerausgeberIn), Theuss, Horst (HerausgeberIn), Motooka, Teruaki (HerausgeberIn), Lindroos, Veikko (HerausgeberIn)
Format:	Electronic Resource
Sprache:	English
Veröffentlicht:	London Elsevier [2020]
Ausgabe:	Third edition.
Schlagworte:	Microelectromechanical systems. Microelectromechanical systems > Materials. Silicon > Electric properties. Electronic books.
Online Zugang:	Available for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access Also available remotely for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access thru EZproxy