Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς:	Tilli, Markku (Επιμελητής έκδοσης), Paulasto-Krockel, Mervi (Επιμελητής έκδοσης), Petzold, Matthias (Επιμελητής έκδοσης), Theuss, Horst (Επιμελητής έκδοσης), Motooka, Teruaki (Επιμελητής έκδοσης), Lindroos, Veikko (Επιμελητής έκδοσης)
Μορφή:	Electronic Resource
Γλώσσα:	English
Έκδοση:	London Elsevier [2020]
Έκδοση:	Third edition.
Θέματα:	Microelectromechanical systems. Microelectromechanical systems > Materials. Silicon > Electric properties. Electronic books.
Διαθέσιμο Online:	Available for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access Also available remotely for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access thru EZproxy