Polymers in microlithography materials and processes

Détails bibliographiques
Autres auteurs:	Reichmanis, Elsa 1953- (Éditeur intellectuel), MacDonald, Scott A. (Éditeur intellectuel), Iwayanagi, Takao 1949- (Éditeur intellectuel)
Format:	Electronic Resource
Langue:	English
Publié:	Washington, DC American Chemical Society [1989]
Sujets:	Polymers > Congresses. Photoresists > Congresses. Microlithography > Materials > Congresses. Electronic books.
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