Handbook of VLSI microlithography principles, technology, and applications

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Glendinning, William B. (Επιμελητής έκδοσης), Helbert, John N. (Επιμελητής έκδοσης)
Μορφή: Electronic Resource
Γλώσσα:English
Έκδοση: Park Ridge, N.J. William Andrew [1991]
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Available for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access
Also available remotely for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access thru EZproxy