Fine line lithography

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς:	Newman, Roger (Επιμελητής έκδοσης)
Μορφή:	Electronic Resource
Γλώσσα:	English
Έκδοση:	Amsterdam Elsevier [1980]
Θέματα:	Integrated circuits > Large scale integration. Lithography. Electronic books.
Διαθέσιμο Online:	Available for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access Also available remotely for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access thru EZproxy