Rapid thermal processing science and technology

Бібліографічні деталі
Інші автори:	Fair, Richard B. (Редактор)
Формат:	Electronic Resource
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Boston Academic Press [1993]
Предмети:	Semiconductors > Heat treatment. Semiconductor doping. Rapid thermal processing. Electronic books.
Онлайн доступ:	Available for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access Also available remotely for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access thru EZproxy