Laser microfabrication thin film processes and lithography

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون:	Ehrlich, Daniel J. (المحرر), Tsao, Jeffrey Y. (المحرر)
التنسيق:	Electronic Resource
اللغة:	الإنجليزية
منشور في:	Boston Academic Press [1989]
الموضوعات:	Lasers > Industrial applications. Thin film devices > Design and construction. Microlithography. Microfabrication. Electronic books.
الوصول للمادة أونلاين:	Available for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access Also available remotely for University of the Philippines System via ScienceDirect. Click here to access thru EZproxy