Detection and classification of defect patterns on semiconductor wafers

Detection and classification of defect patterns on semiconductor wafers

التفاصيل البيبلوغرافية
الحاوية / القاعدة:IIE Transactions : Quality and Reliability Engineering 38, 12 (2006 (D)).
المؤلف الرئيسي: Chih-Hsuan Wang
مؤلفون آخرون: Way Kuo, Halima Bensmail
التنسيق: مقال
اللغة:English
الموضوعات:
Defect recognition.
Process engineering.