Aluminum nitride/ air-gap structures fabricated via selective wet chemical etching
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Médium: | Diplomová práce |
| Jazyk: | angličtina |
| Vydáno: |
Quezon City
National Institute of Physics, College of Science, University of the Philippines Diliman
2013.
|
| Témata: |