Formation of nanopillars on 4H-SiC via self-masking CF4 plasma etching in a gas disharge ion source
| প্রধান লেখক: | |
|---|---|
| অন্যান্য লেখক: | |
| বিন্যাস: | গবেষণাপত্র |
| ভাষা: | ইংরেজি |
| প্রকাশিত: |
Quezon City
National Institute of Physics, College of Science, University of the Philippines Diliman
2013.
|
| বিষয়গুলি: |