Nondestructive and subsurface defect detection in integrated circuits using advanced microscopy and spectroscopy techniques

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Tarun, Alvarado B. (Tekijä)
Muut tekijät:	Saloma, Caesar A. (thesis adviser.)
Aineistotyyppi:	Opinnäyte
Kieli:	englanti
Aiheet:	Integrated circuits > Reliability.