Design and manufacturing of active microsystems
| مؤلف مشترك: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | , , |
| التنسيق: | Electronic Resource |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
Berlin, Heidelberg, New York
Springer
c2011.
|
| سلاسل: | Microtechnology and MEMS.
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | Available for the University of the Philippines Diliman via SpringerLink. Click here to access |