Production of Au, Nb, and Si ions using a sputter-type negative ion source

Production of Au, Nb, and Si ions using a sputter-type negative ion source

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Ulano, April M.
Formaat: Thesis
Taal:English
Gepubliceerd in: 2012.
Onderwerpen:
Sputtering (Physics).
Chemical elements.