Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume II Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology.

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Madou, Marc J.
Formaat: Boek
Taal:English
Gepubliceerd in: Boca Raton, Fla. CRC Press c2012.
Editie:3rd ed.
Onderwerpen: